首页  /  联系大发   中文  /  英文  /  法语

光谱共焦位移传感器

商品分类描述:

光谱共焦技术测量原理

 

 

利用波长信息测量距离

    由光源射出一束宽光谱的复色光(呈白色),通过色散镜头发生光谱色散,形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来,只有满足共焦条件的单色光,可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长,换算获得距离值。




光谱共焦传感器

主要型号参数

 


 

OP2-Fc

安装距离:11mm

量程:±200

线性度:±0.025%F.S.

分辨率:10nm

光斑:10um

OP3-Fc

安装距离:12.7mm

量程:±650

线性度:±0.025%F.S.

分辨率:20nm

光斑:12um

OP4-Fe

安装距离:19mm

量程:±2000

线性度:±0.025%F.S.

分辨率:40nm

光斑:20um

OP5-Fd

安装距离:24mm

量程:±5000

线性度:±0.025%F.S.

分辨率:300nm

光斑:25um

规格/测头

型号With CDS-200

 

OP2

OP3

OP4

OP5

OP5L

安装距离

mm

11

12.7

19

24

30

量程

μm

±200

±650

±2000

±5000

±5000

最大倾角

deg

±28°

±25°

±21°

±14°

±12°

放大器型号

 

Fc

Fc

Fe

Fd

Fe

光斑尺寸

μm

10

12

20

25

25

光量收集率

--

41

57

91

100

80

位移测量

 

 

分辨率(平均128次)

nm

10

20

40

300

300

精度

 

±0.025%F.S.

±0.025%F.S.

±0.025%F.S.

±0.025%F.S.

±0.025%F.S.

最小可测粗糙度(Ra)

nm

30

90

170

600

600

厚度测量

 

 

最小厚度测量

μm

22

40

120

350

350

最大厚度测量

μm

510

2000

5700

16500

16500

长度

mm

176

176

130.5

145.5

--

直径

mm

27

27

27

27

27

规格/控制器

型号

CDS-200

采样频率

100 to 1000 points/sec 用户可定义

光源

白色LED

测量模式

位移/厚度

数字I/O

USB2.0

同步I/O

1 Trigger input(TTL)

光纤连接器

FC/APC

兼容性

兼容所有型号测头

电源/功耗

24V DC 2A

工作温度

5-40

放置温度

-30-70

相对湿度

5%-80%无冷凝

防护等级

IP 40